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类别：超声波干式除尘设备USC
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除尘头里有一个超声波发生腔和俩个真空吸附腔。尘粒在吸附层作用下粘附于玻璃基板表面，要想去除尘粒，必须克服尘粒的粘附力。
通过鼓风机，给除尘头的超声波发生腔提供8-16Kpa的洁净气体，气体通过超声波发生器产生超声波，利用超声波传播的能量及振动，使尘粒克服玻璃基板表面的粘附力，以拉升、滚动及滑动三种运动方式(单一或混合）从玻璃基板表面脱离，使得尘粒从玻璃基板表面分离出来。
除尘头的真空腔是用来吸附尘粒。当尘粒从玻璃基板表面分离出来后，利用超声波的反射将的尘粒带动起来，运动的尘粒瞬间被清洗头的真空吸附腔吸走，从而达到清洗玻璃表面尘粒的效果。
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主要技术参数 |
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有效清洗长度 |
0-700mm |
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工作风压 |
8-16KPa |
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除尘头到工件的距离 |
5mm以内，1.5mm最佳 |
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除尘头到机箱的管长度 |
10米以内 |
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清洁效率 |
3um尘粒 97%的清除率，6um尘粒 98%清除率 |
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吐出风温度 |
小于45℃ |
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噪音 |
小于80分贝 |
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工作电压 |
3 相 380V 50/60Hz（可选配三相220V） |
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设备功能 |
高低频瞬时启动，温度监控反馈，风压监控反馈，频率监控，PLC控制，参数触摸屏设定,可实现MES连接 |
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测试条件 与 验收方法 |
测试条件：在100级洁净室内完成，工作高度1.5mm，工作气压14KPa，清洗速度 80mm/s，3um间隔粉。 |
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验收方法：在洁净的清洗玻璃上喷撒间隔粉，目视区域120-150粒，200倍显微镜检测，清除率达97%以上。 |
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工作间距：1.5mm.（出风全部被吸回无泄漏的条件下,正压为在除尘头入口端口测量的内部压力）
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型号 |
有效 宽幅 |
对应机台使用功率 |
P (出风口） |
V (吸风口） |
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压力（KPa） |
流量（L/min） |
压力（KPa） |
流量（L/min） |
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|
USC-PT-100 |
100mm |
1.5KW |
8 |
800 |
-2 |
900 |
|
12 |
1000 |
-3 |
1100 |
|||
|
16 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
|
USC-PT-200 |
200mm |
1.5KW |
8 |
1500 |
-2 |
2000 |
|
12 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
|
16 |
2500 |
-3 |
3000 |
|||
|
USC-PT-300
|
300mm |
3.0KW |
8 |
2500 |
-2 |
3000 |
|
12 |
3000 |
-3 |
3500 |
|||
|
16 |
3500 |
-3 |
4000 |
|||
|
USC-PT-400
|
400mm |
5.5KW |
8 |
3200 |
-2 |
3500 |
|
12 |
3600 |
-3 |
4000 |
|||
|
16 |
4000 |
-3 |
4300 |
|||
|
USC-PT-700 |
700mm |
5.5KW |
8 |
5600 |
-2 |
6000 |
|
12 |
6000 |
-3 |
6300 |
|||
|
16 |
6500 |
-3 |
6800 |
|||
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